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有FellesPhotonic公司引進的超高精度紅外顯微鏡日前在無錫微電子產業園安裝成功。這套紅外顯微鏡使用7-14微米的PbSe探測器作為熱源探測器,提供高達10微米分辨率的熱成像和紅外成像。該紅外
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